停止IPO的“光刻机第一股”

核心项目7月4日报道，近日，上海证券交易所官网披露，由于华卓精科及其保荐人撤销上市申请，半导体设备公司北京华卓精科技有限公司(以下简称“华卓精科”)停止发行上市审核。

顶着冲刺“第一个光刻机“光环，华卓精科冲关科技创新板之路一度备受关注，其IPO拟募集资金7.35亿元，用于R&D半导体装备关键零部件和R&D超精密测控产品中心。

2020年6月24日，华卓精科申请科技创新板IPO，2021年7月29日首次上会遇到暂停审议，同年9月17日上会通过，但在今年6月26日停止IPO之前，华卓精科将于2021年7月29日首次上会遇到暂停审议。

不只是华卓精科，今年已有十多家半导体企业停止了科创板IPO，这份长长的名单还包括大连科利德半导体材料有限公司、德一微电子有限公司、合肥芯谷微电子有限公司、宁波奥拉半导体有限公司、杭州华澜微电子有限公司、上海芯旺微电子科技有限公司、苏州明一传感科技有限公司、华羿微电子有限公司、青岛信心微电子科技有限公司、山东华光光电子有限公司、北京晶亦精微科技有限公司等。

华卓精科成立于2012年5月，法定代表人为孙国华，任华卓精科总经理；实际控制人和控股股东是清华大学长聘任教授朱煜，担任华卓精科首席科学家。其核心产品是纳米精度运动和测控系统，是光刻机的核心子系统之一。其性能对光刻晶圆起着决定性的作用，可以大大提高光刻机的精度和生产效率。

华卓精科在申报稿中称自己为“国内首家自主开发并实现纳米精度运动和测控系统商业化生产的企业”、“纳米精度运动及测控系统是国内高端光刻机龙头企业的产品和科研开发供应商”。

上海证券交易所回应材料显示，根据2023年12月发布的《关于北京华卓精科技有限公司首次公开发行股票并在科技创新板上市申请文件第二轮审批咨询函的回复》:

(1)2017年至2020年9月，光刻机双工件台销量为0，2020年4月，一台光刻机双工件台向上海微电子发货，尚未通过验收；

(2)2017-2020年9月，企业收入构成中光刻机双工件台销售额为1521.37万元、795.00万元、0万元、0万元，实际销售内容为技术服务和双工件台模块非双工件台本身；

(3)招股书披露企业主要产品包括光刻机双工件台；

(4)企业披露的主要产品收入包括精密运动系统、晶圆键合设备、激光退火设施等。，但商品销售和技术服务也包括在实际工资中。

上海证券交易所需严格按照华卓精科的实际销售情况介绍公司的主营业务和主营产品，并要求华卓精科“如果没有公开、客观、权威的依据，删除企业的干试光刻机双工件台已经达到或接近国际同类设备水平。”，最后华卓精科删掉介绍了干试纳米精度运动和测控系统已经达到或接近国际同类设备水平的相关表述。

此外，咨询还涉及华卓精科和清华大学的共同技术，包括“2024年3月1日，发行人与清华大学签订了光刻机双工件台技术转移和实施技术转让合同，合同总额800万元，后续收入抽取”。

上海证券交易所要求华卓精科披露与清华大学共有专利、专利执行许可证、技术转让相关合同的条款，以及清华大学是否存在停止授权或授权第三方的风险，证明其产品与核心技术与清华大学的关系，公司主要高管和核心技术人员的清华就业背景，以及与清华大学的合作研发项目。

对此，华卓精科有近50多个回应。

根据回复，该企业和清华大学共有166项专利作为共同权利人(其中5项专利有效期已满)，其中115项专利通过协议转让获得，30项专利通过委托开发获得，21项专利通过合作研发获得，1项专利由清华大学授权企业执行。

2002年，清华大学成立了IC设备研究室，主要从事超精密机械和测量控制领域的研究；从2009年开始，IC设备研究室负责国家重大科技纳米精度运动和测量控制系统样机的研发项目。研究团队突破并掌握了超精密测量控制的基本理论技术，开发了纳米精度运动和测量控制系统研究阶段的实验室原理样机。理论和技术基础为华卓精科成立后纳米精度运动和测控系统的产业化奠定了基础。

2012年4月，在清华大学的支持下，北京清华工业开发研究所与IC设备研究室核心团队协商，决定开设华卓有限公司。

朱煜、徐登峰、张鸣、杨开明、尹文生、胡金春、穆海华、成荣等清华大学机械工程系IC设备研究室成员，通过华卓精密和艾西精创两个持股平台间接持有华卓有限股份，后于2014年通过股权转让直接持有华卓有限股份。

在华卓有限公司成立之初，与清华大学解除劳动合同后，IC设备研究室的一些项目合同制人员被放入华卓有限的R&D人员团队。

截至问询函回复之日，华卓精科有5名清华大学工作人员，其中5名兼职工作人员，分别是朱煜、张鸣、杨开明、成荣、李鑫。华卓精科在技术研发和商业活动中建立了自己的团队，与清华大学不同。

朱煜、张鸣、杨开明三人获得清华大学兼职批准，在华卓精科处担任技术顾问，为华卓精科研发过程中的关键问题提供理论指导，三人均不直接参与华卓精科的日常科研开发。

成荣在华卓精科处担任清华大学兼职审批董事，李鑫在清华大学获得兼职审批，主要为华卓精科销售提供咨询服务。

除了朱煜和张鸣两名兼职核心技术人员外，华卓精科还有三名全职员工担任核心技术人员，大量的日常科研开发工作由专职技术R&D团队成员独立完成。

历史上，华卓精科与清华大学在纳米精度运动和测控系统领域的一些R&D项目上进行了产学研合作。华卓精科是合作R&D项目的主要领导者，主要负责项目的工程研发和产业化发展。

华卓精科去年1月提交多份回复文件后，没有新的咨询和回复文件披露。经过四年的科技创新板IPO之路，我终于回到了羽毛。

本文来自微信微信官方账号的“核心物品”（ID:作者：ZeR0，编辑：漠影，36氪经授权发布，aichip001)。

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