国产Low-α球铝突破5ppb技术线:HBM封装关键材料的新进展
电子发烧友网综合报道,在芯片封装技术向HBM 4/5世代升级的趋势下,一种名为Low-α球铝(低α射线球形氧化铝)的关键材料逐渐受到关注。这种材料因铀、钍等放射性元素含量极低(通常控制在10 ppb以下),能有效抑制α粒子引发的单粒子翻转问题,保障7nm及以下先进制程芯片的长期运行可靠性。
同时,它具有高球形度、优异的导热性与电绝缘性,是HBM、2.5D/3D封装、系统级封装(SiP)等先进封装技术中环氧塑封料(EMC/GMC)的核心成分。不过,长期以来,Low-α球铝的制备技术被日本企业垄断,像日本雅都玛(Admatechs)等公司占据全球90%以上的高端市场,中国在该领域一直面临困境。
近年来,随着人工智能、高性能计算和国产芯片产业的快速发展,国内对Low-α球铝的需求急剧增加。在此情况下,加快Low-α球铝的国产化进程,成为保障我国半导体产业链安全的重要任务。令人欣喜的是,经过多年技术攻关,部分国内企业在该领域取得了实质性突破。
在技术方面,国内企业通过自主研发,在Low-α球铝的核心技术指标上实现突破,关键参数达到或优于国际主流水平。例如,成功将铀(U)、钍(Th)含量降至5ppb以下,部分企业甚至能实现1ppb级控制。
这一指标与日本雅都玛的0.001C/cm² hr标准持平,可有效避免α射线导致的芯片软错误,满足HBM4等高端封装对零干扰的需求。
比如联瑞新材在技术和商业化进度上较为领先,已量产多种规格的Low-α球铝,放射性含量低于5ppb,产品规格覆盖0.1 - 10μm。该公司通过三星SDI、住友电工等一级供应商间接供货给SK海力士、英伟达等国际客户,2024年Low-α球铝出货量同比增长超300%,2025年获得境外客户批量订单,成为国内少数实现Low-α球铝出口的企业。
天马新材凭借二十余年氧化铝研发经验,自主开发的Low-α球铝已完成中试,铀/钍含量<5ppb,球形度达96%。目前,该公司正重点攻克16层HBM封装所需的高导热Low-α球铝技术,预计2026年启动量产验证。
壹石通规划了年产200吨Low-α球铝项目,但目前仍处于产线调试与客户送样验证阶段,尚未实现批量生产。其产品通过了日韩客户(如三星SDI、住友电工)的多批次验证,但下游大批量使用节奏较慢,主要原因是产业链验证周期长,为6 - 12个月,最长可能达2年。
不过,目前国内Low-α球铝行业也存在一些瓶颈。例如,上游原材料需使用5N铝锭(99.999%以上),而国产5N铝锭的U/Th通常在5 - 20ppb,需经区域熔炼 + 偏析或三层液二次电解才能降到1ppb以下。目前,只有新疆众和、包头铝业、上海交大—交大材料院等具备1ppb级小批量试产能力,合格收得率<30%,成本是常规5N的2 - 3倍。
国际高纯铝巨头如挪威海德鲁(Hydro)可将金属铝中U/Th稳定控制在0.3 - 0.5 ppb,日本Denka则在高纯氧化铝端具备同等控制能力。相比之下,国产1ppb级铝原料仍处于小批量试产阶段,成本高、收率低,因此高端Low-α球铝企业普遍采用进口高纯铝/氧化铝 + 国内球化复配的双轨策略。
总体而言,Low-α球铝仍属于高门槛、小市场、快速增长的赛道。国内已完成从0到1的实验室/中试突破,正迈向从1到10的规模化与客户端全面验证阶段。
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