中微企业获发明专利许可：“一种气体喷头和化学气相沉积装置”
02-16 07:05
证券之星消息，根据天眼查 APP 数据显示，中微公司(688012)获得了新的发明专利授权，专利名称为“气体喷头和化学气相沉积设备”，专利申请号为 授权日为CN20110600882.5 2025 年 2 月 14 日。
专利摘要:本产品提供了一种喷头，包括扩散板和冷却板，以及设置在两个界面上的挡气条。挡气条位于扩散板上相邻的两个气体扩散通道之间。当冷却板在沉积反应过程中因加热而变形时，挡气条可以防止不同气体运输通道之间的气体在扩散板和冷却板之间的缝隙中横向流动，导致不同气体提前混合。确保反应气体工艺指标的稳定性，避免在缝隙处形成高聚物沉积，从而避免随之而来的颗粒污染。
中微公司今年以来新获得专利授权 29 个人，比去年同期有所增强。 结合企业22.22%。 2024 2024年年中报告财务数据 上半年，企业在研发方面倾注了注意力 5.68 亿元，同比增长 94.58%。
资料来源：天眼查 APP
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