中微企业获得实用新型专利授权：“外延沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查 APP 数据显示，中微公司(688012)获得实用新型专利授权，专利名称为“延伸沉积设备”，专利申请号为 授权日为CN202420885799.6 2025 年 2 月 14 日。

专利摘要:一种外延沉积设备，包括:腔室主体，其中为处理空间；基板支撑件安装在腔室主体内；衬里位于腔室主体内，围绕基板支撑件的外围设置。内衬沿其直径方向包括第一端和第二端；输入气体部件位于第一端，其中设有第一气体输送管，第一气体输送管与辅助气体源连接；气体部件的导出位于第二端。其中有气体导出管道；内衬设有相互连接的第二气体运输通道和第三气体运输管道，第二气体运输通道与第一气体运输管道相连。内衬沿其轴向从输入气体部件延伸到导出气体部件的调节区，第三气体运输管道延伸至上述调节区，第三气体运输管道与处理空间连接。上述外延沉积设备产生的薄膜厚度均匀性较高。

中微公司今年以来新获得专利授权 29 个人，比去年同期有所增强。 结合企业22.22%。 2024 2024年年中报告财务数据 上半年，企业在研发方面倾注了注意力 5.68 亿元，同比增长 94.58%。

资料来源：天眼查 APP

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