北方华创、中微合作伙伴、半导体设备细分领域的“小巨人”今天上市

12 月 12 日本先锋精科(688605.SH）该公司是国内半导体蚀刻及薄膜沉积设备细分领域的关键部件精密制造商，在科创板上市。

据报道，先锋精科是国内半导体设备精密零部件行业的有影响力企业之一，是我国专业的“小巨人”企业和国家高新技术企业，拥有江苏省晶圆刻蚀设备关键零部件智能车间和大型集成电路高端设备精密零部件智能制造车间，同时也是江苏省气相沉积设备零部件工程技术研究中心，江苏省基于 5 纳米芯片工艺蚀刻设备 PM 模块化工程研究中心。

公司自成立以来，一直与行业龙头公司北华创和李伟公司密切合作。作为核心零部件的重要供应商，公司协助客户的许多设备经历了从R&D、定型、量产到迭代的完整过程。与此同时，公司还与其他行业龙头公司和终端晶圆制造企业建立了长期稳定的战略合作关系，如拓荆科技、华海清科、中芯国际和屹唐股份。

根据先锋精科的介绍，2023 今年，公司在中国国内同类产品的目标市场规模已经量产和应用于蚀刻设备的关键工艺部件。 7.77 目标市场占比超过1亿元。 15%。中国同类产品的目标市场规模约为已量产应用于薄膜沉积设备的关键工艺部件。 11.20 目标市场占比超过1亿元。 6%。

2021 年到 2024 年 3 月份，先锋精科精密零部件产品主要用于半导体设备，各期相应的主营业务收入占到处都是。 90% 上下。

招股书显示，先锋精科的产品主要分为关键工艺部件、工艺部件和结构部件。其中，关键工艺部件包括内衬、加热器、匀气盘和内腔，是晶圆反应工作区的关键部件，构成晶圆制造工艺的必要条件，如腐蚀隔离、可控温度、反应气体的特定分布、真空环境等。，其产品质量直接关系到工艺的良好率。

工艺元件是指与衬里、加热器、匀气盘、内腔共同构成反应工作区的元件，一般具有密封、引流、运动等功能，其产品质量进而影响工艺良率；结构元件是指位于反应工作区之外，一般具有连接、支撑、传输等功能。品种很多，不同的产品差别很大。

值得注意的是，很多客户也入股了先锋精科。中微直接持有。 1.93% 中芯国际通过中小企业发展基金间接持有的股权 0.91% 北方华创通过北京集成电路基金间接持有股权(比例低于) 0.01%）。

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