新松公司突破新一代真空机械手：输送晶圆，重复定位精度 0.02mm

IT 世家 8 月 25 日消息，8 月 21 日 ~25 日，2024 北京举行世界机器人大会，169 家企业展出 600 剩余创新产品。

根据介绍，真空机械手是芯片制造过程中，负责晶圆传输在不同工序之间的关键设备。，重复定位精度要求在尖端工艺过程中达到 0.02mm，相当于一根头发的直径。 1/5，这种设备长期被国外企业垄断，被公认为“卡脖子”技术。

▲ 新松 Centaur 真空机械手

新松公司独立突破了新一代真空机械手技术，并在中国最先进的芯片制造厂实现了批量应用。

新松 Centaur 真空机械手具有领先的重复定位精度、冲击保护和冲击保护 AWC 智能化动态纠偏等功能，机械手采用双独立设计，双臂不受彼此影响，独立进行取放工作。，与传统机械手相比，其传输效率大大提高，可以作为晶圆运输的不同尺寸和规格。

▲ 双臂具身智能抓取站

IT 世家注意到，新松公司还展示了双臂智能抓取站、工业机器人 3D 相关机器人产品如视觉免示教系统、特种机器人等。 / 系统。

▲ 工业机器人 3D 视觉免示教系统

▲ 特殊机器人产品

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