我国突破微机电系统关键射频参数计量技术 部分指标跻身国际先进水平

此前我国微机电系统（也就是MEMS）领域一直面临射频参数计量标准空白，同时在信号完整性检测、可靠性研究方面的技术能力也存在明显短板。针对这一产业发展痛点，市场监管总局近期牵头组织国内多家相关科研机构开展技术攻关，聚焦MEMS关键射频参数的计量测试技术深耕突破，成功大幅提升了我国在MEMS介电常数、脉冲波形、光子链路定位、电磁辐射等核心参数方面的计量测试能力，彻底解决了MEMS关键射频参数无法精准计量测试、难以落地应用的核心问题。

本次技术攻关取得了多项亮眼成果，研究团队成功研制出基材介电常数计量装置、太赫兹波形计量装置、光子链路定位参数计量装置、微互连电磁泄漏总辐射功率测试装置，以及微机电系统电接触和互连电参数测试装置等多款核心设备，其中多项设备的技术指标已经达到国际先进水平。除此之外，研究团队还牵头完成了《皮秒级快沿/脉冲发生器校准规范》等3项国家计量技术规范的起草工作，进一步完善了我国微机电系统测量以及相关仪器仪表领域的质量保障体系，为行业规范化发展打下了坚实基础。

现阶段，本次攻关取得的相关研究成果已经进入5G高频器件、光电集成器件以及机载光网络等领域开展示范应用，不仅为我国滤波器等5G高频器件的创新研发提供了助力，还保障了相关设备故障诊断定位的准确性与可靠性，为我国新一代信息技术、航空航天等战略性新兴产业的高质量发展提供了有力的计量支撑。

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原标题：《部分指标达国际先进 我国微机电系统关键射频参数计量技术取得突破》

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