中微公司获“下电极组件及等离子体处理设备”发明专利授权

07-10 06:36

证券之星消息，据天眼查APP数据显示，中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名称为“下电极组件及等离子体处理设备”，专利申请号为CN202411660380.1，授权日为2025年7月8日。

专利摘要：本发明提供一种下电极组件及等离子体处理设备。该下电极组件用于等离子体工艺处理，包含静电吸盘，其上面用于承载基片；位于静电吸盘中的第一电极，与脉冲式直流偏压源电连接；位于静电吸盘中的第二电极，通过隔离电路与直流电压源电连接，且第二电极在第一电极上方；隔离电路有一个二极管，二极管负极与直流电压源负极电连接、正极与第二电极电连接。本发明通过消除脉冲式直流偏压源对箝位电压的影响，解决工艺过程中基片箝位电压失稳问题。

今年以来，中微公司新获得专利授权84个，较去年同期减少1.18%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入14.18亿元，同比增长73.59%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资28家企业，参与招投标项目66次；财产线索方面，有商标信息98条，专利信息1505条，著作权信息13条；此外，企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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