中微企业获发明专利许可：“限定环、等离子体处理装置和气压控制措施”

证券之星消息，根据天眼查 APP 数据显示，中微公司(688012)获得发明专利授权，专利名称为“限定环、等离子体处理装置和气压控制措施”，专利申请号为 授权日为CN202110453308.1 2025 年 5 月 9 日。

专利摘要:本产品提供等离子处理装置的限定环。上述等离子处理装置包括一个反应腔。上述反应腔内设有支撑晶圆的底座。上述限定环为多层结构。上述限定环的每层包括几个限定模块，几个限定模块形成一个圆形结构。上述限定模块设置在底座外围和反应腔侧壁之间；每个限定模块包括多个弧形零件和伸缩机构。上述多个弧形零件同心并沿其轴向分离。上述伸缩机构用于驱动上述多个弧形零件沿弧形零件径向运动，从而在相邻的弧形零件之间产生气体通道。该产品还提供等离子体处理装置和等离子体处理装置的气压控制措施。该产品还提供等离子体处理装置和等离子体处理装置的气压控制措施。上述限定环的高度可调。

中微公司今年以来新获得专利授权 66 个人，比去年同期有所增强。 结合公司13.79%。 2024 2024年年报财务数据 年度企业在R&D方面倾注了注意力。 14.18 亿元，同比增长 73.59%。

资料来源：天眼查 APP

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