中微企业获得实用新型专利许可：“下电极部件及等离子体处理设备”
04-09 07:11
证券之星消息，根据天眼查 APP 数据显示，中微公司(688012)获得实用新型专利授权，专利名称为“下电极部件和等离子体处理设备”，专利申请号为 授权日为CN202420563285.9 2025 年 4 月 8 日。
专利摘要:本实用新型提供一种下电极部件和等离子体处理设备。上述下电极部件设置在真空反应腔内，包括:底座用于支撑晶圆，上电底座与射频电源连接；设施板，设置在底座底部；上隔离环设置在上述底座和上述设施板周围；下隔离环，设置在上述设施板和上述隔离环下方，并承载上述设施板；上述下隔离环内部有第一个带电荷接地的紧固件；第一个弹性绝缘环，至少设置在上述设施板和上述隔离环之间，弹性接触上述设施板外侧壁和上述下隔离环的顶部。这种实用新型大大降低了电极部件因电弧放电而被击穿的风险，提高了晶圆加工的安全性。
中微公司今年以来新获得专利授权 45 个人，与去年同期相比有所下降。 10%。与公司相结合 2024 2024年年中报告财务数据 上半年，企业在研发方面倾注了注意力 5.68 亿元，同比增长 94.58%。
资料来源：天眼查 APP
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