上海市半导体晶圆运输机器人出现

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上海半导体晶圆运输机器人亮相上海

新闻(记者赵培珊) 胡明)7月3日至5日，国际显示技术和应用创新大会在上海举行，展会将在我市投产的新产品——半导体晶圆运输机器人亮相。

据了解，晶圆运输机器人是半导体制造设备中使用最广泛的机器人设备，承担着晶圆精确定位和稳定运输的任务。晶圆运输机器人的定位传输精度直接决定了晶圆传输设备整机系统的传输精度。由于零部件结构复杂，精度等级严格，这项技术一直是半导体制造设备领域的一大难点，长期被国外垄断。

为了克服这一技术困难，经过多年的研发，山东现代庆典智能设备有限公司(以下简称现代庆典)R&D团队成功开发了半导体晶圆运输机器人和晶圆自动装卸机器人。该系列产品可实现晶圆高效稳定运输，为晶圆自动运输保驾护航，帮助我国半导体制造设备产业发展。

展会上，现代庆典还与成都环龙智能机器人有限公司等4家企业签订了现场合同，双方将在半导体晶圆运输机器人等领域进行深度合作。记者了解到，还有十多家公司没有在场合作。

“淄博作为一个老工业基地，工业门类齐全，产业基础雄厚，尤其是近年来，对机器人行业的支持力度很大。工博将以此次签约为契机，期待未来继续与城市携手同行。”工博士机器人智能设备事业部总经理姚雪在现场表示。

今后，该产品将落地临淄服务机器人产业基地，进一步延伸我市机器人产业链，推动我市机器人产业生态更加丰富。

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原题：上海出现了淄博市半导体晶圆运输机器人。

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